水平方向主要指標(biāo) · 測(cè)量面積： 標(biāo)準(zhǔn)分辨率：6.6x6.6mm · 理論分辨率：6微米 · 數(shù)精度 ： 1微米 · 重復(fù)精度： <1.0微米 垂直方向主要指標(biāo) · 有效測(cè)量范圍 o 標(biāo)準(zhǔn)鏡頭：0.5 毫米 o 大景深鏡頭：1.5毫米 · 讀數(shù)精度 ： 0.1微米 · 重復(fù)精度: <1.0微米 · 變異系數(shù): < 0.05 縐紋頻率 · 測(cè)量范圍：8個(gè)/cm – 128個(gè)/cm · 重復(fù)精度（變異系數(shù)）：±1個(gè)/cm (<0.05) 針孔測(cè)量參數(shù) · 小面積：0.004 平方毫米 縐紋質(zhì)量表征及圖表 · 縐紋寬度分級(jí)及分布直方圖：4級(jí) · 縐紋寬度分布直方圖 · 縐紋深度分布直方圖 · 縐紋寬度-深度聯(lián)合分布直方圖 · 獨(dú)立縐紋長度分布直方圖 · 縐紋質(zhì)量風(fēng)向玫瑰圖 深度校準(zhǔn)方式 · 標(biāo)準(zhǔn)球體：直徑1.5mm 圖像傳感器 · 分辨率：2448x2048 · 象素尺寸：3.45微米 · 傳感器：CMOS 2/3” · 接口：USB3 測(cè)試平臺(tái) · 照明LED：4個(gè)，中心波長595nm · 調(diào)焦范圍：15mm · 調(diào)焦方式：手動(dòng)與電動(dòng) 儀器尺寸： · 長X寬X高：350X220X300mm